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光學(xué)表面3d輪廓測(cè)量?jī)x

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中圖儀器光學(xué)表面3d輪廓測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-04-05
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:4240
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在芯片封裝測(cè)試流程中,晶圓減薄和晶圓切割工藝需要測(cè)量晶圓膜厚、粗糙度、平整度(翹曲),晶圓切割槽深、槽寬、崩邊形貌等參數(shù)。


中圖儀器SuperViewW1光學(xué)表面3d輪廓測(cè)量?jī)x針對(duì)芯片封裝測(cè)試流程的測(cè)量需求,X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,滿(mǎn)足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。而SuperViewW1-Pro 型號(hào)增大了測(cè)量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤(pán),穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。


光學(xué)3D表面輪廓測(cè)量?jī)x.jpg


技術(shù)參數(shù)(部分)

Z向分辨率:0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性:0.1nm

表面形貌重復(fù)性:0.1nm

臺(tái)階測(cè)量:重復(fù)性:0.1% 1σ;準(zhǔn)確度:0.75%

注釋?zhuān)焊嘣敿?xì)參數(shù),可聯(lián)系我們獲取。


光學(xué)表面3D輪廓儀具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的結(jié)合,既可以用于科學(xué)研究,也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。


對(duì)wafer減薄后無(wú)圖晶圓粗糙度測(cè)量:

光學(xué)3D表面輪廓測(cè)量?jī)x.jpg

封裝制程中對(duì)Wafer的切割:

光學(xué)3D表面輪廓測(cè)量?jī)x.jpg

對(duì)Die的輪廓分析及蝕刻深度測(cè)量:

光學(xué)3D表面輪廓測(cè)量?jī)x.jpg


結(jié)果組成

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


中圖儀器光學(xué)表面3d輪廓測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等領(lǐng)域。

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