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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心顯微測(cè)量?jī)x白光干涉儀SuperViewW1三維白光干涉儀
三維白光干涉儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperViewW1三維白光干涉儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2025-04-05
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1610
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SuperViewW1三維白光干涉儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),使得其既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、臺(tái)階高度、表面缺陷、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。


結(jié)果組成

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


SuperViewW1白光干涉儀,白光干涉儀檢測(cè)儀器.jpg


部分參數(shù)

Z向分辨率:0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性:0.1nm

表面形貌重復(fù)性:0.1nm

臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性:0.1% 1σ;準(zhǔn)確度:0.75%


SuperViewW1三維白光干涉儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

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